四合一測量技術(shù)的革新者
瑞士丹青Sensofar的四合一方法只需點擊一次,,系統(tǒng)即可切換到適合當前測量任務(wù)的最佳技術(shù),。在S neox傳感器頭中配置四種測量技術(shù)——共聚焦,干涉,,AI多焦面疊加,,這些都為系統(tǒng)的多功能性做出了重要貢獻,并有助于最大限度地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點,。S neox是所有實驗室的理想之選,,適用范圍廣泛。
AI多焦面疊加
主動照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發(fā)的光學技術(shù),。這項技術(shù)基于Sensofar在共聚焦和干涉3D測量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識,,專門設(shè)計用于補充低放大率下的測量。通過使用主動照明,,即使在光學平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數(shù)據(jù),,這一點已經(jīng)得到了改進。該技術(shù)的亮點包括高斜率表面(高達86°),,最快的速度(3mm/s)和較大的垂直范圍測量,。


共聚焦
共聚焦輪廓儀的開發(fā)目的是,測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度,。共聚焦輪廓提供最高的橫向分辨率,,最高可達0.15μm水平分辨率,空間采樣可減少到0.01μm,,這是關(guān)鍵尺寸測量的理想選擇,。高達NA(0.95)和放大倍率(150X)的物鏡可用于測量局部斜率超過70°的光滑表面。對于粗糙表面,,最高可允許86°,。獨家的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復(fù)性。


干涉
PSI 相移干涉法,,可以用于測量亞埃分辨率的高度光滑和連續(xù)表面的高度,。可以使用極低的放大率(2.5X)測量具有相同高度分辨率的大視場,。
CSI 相干掃描干涉法使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度,,達到1nm的高度分辨率。


薄膜
薄膜測量技術(shù)快速,、準確,、無損地測量光學透明層的厚度,,且不需要樣品制備。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜,,并與軟件計算的模擬光譜進行比較,,對層厚進行修改,直到找到最佳擬合,??梢栽诓坏揭幻腌姷臅r間內(nèi)測量出50nm到1.5μm的透明膜。測量光斑取決于物鏡放大率,,最小可低至0.5μm,,最高可達40μm。
