![不可思議的晶圓厚度測(cè)量]( "不可思議的晶圓厚度測(cè)量")
說(shuō)明：
Measuring the Nearly Immeasurable不可思議的晶圓厚度測(cè)量 在柏林費(fèi)迪南德布勞恩研究所生產(chǎn)的半導(dǎo)體激光和高頻放大器晶圓必須達(dá)到一個(gè)極度精密的層厚度,。潔凈室工人使用Werth多傳感器坐標(biāo)測(cè)量機(jī)監(jiān)督這個(gè)過(guò)程,。該機(jī)配有色差傳感器，準(zhǔn)確的無(wú)接觸捕捉所需的測(cè)量元素,。 在柏林的費(fèi)迪南德布勞恩研究所,、萊布尼茲研究所,。共有220名員工，其中包括110名科學(xué)家,。開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)用于材料加工,、和精密測(cè)量技術(shù)，以及其他二極管激光器產(chǎn)品,。另一個(gè)是通信技術(shù),、電力電子技術(shù)和傳感器的高頻零件的生產(chǎn)?！霸摪雽?dǎo)體激光器具有低的安裝高度,，以及高精度的拋光和接觸力，”工藝技術(shù)部的Dr.AndreasThies說(shuō)這些,。雖然這樣的激光不大于一粒米,，但它可以輸出高達(dá)20瓦的連續(xù)波操作，或100瓦的快速脈沖波,。激光在光盤中的大約是5000到25000倍,。這些特點(diǎn)，伴隨著在極端條件下的高可靠性,，使得FBH激光器享譽(yù)全球,。他們甚至在外太空試驗(yàn)，例如,，在下一代GPS衛(wèi)星的原子鐘。光學(xué)有許多領(lǐng)域的應(yīng)用案例,。在醫(yī)學(xué)技術(shù)中,，他們通過(guò)開(kāi)啟一種準(zhǔn)確定義的波長(zhǎng)和受影響的被破壞細(xì)胞，在“Zhongliu”細(xì)胞中建立的“Yaowu”來(lái)幫助“Zhiliao”的光動(dòng)力療法,。進(jìn)一步的應(yīng)用包括光學(xué)精密測(cè)量,，工業(yè)測(cè)量和材料處理（粘接、焊接,、雕刻）,。 晶圓的各種加工過(guò)程 微波技術(shù)的研究和開(kāi)發(fā)工作和光電是對(duì)基本技術(shù)的基礎(chǔ)上完成的。利用外延（在單晶底面上放置的單晶半導(dǎo)體層）,，與所需的極薄的層的特征材料組裝在硅晶圓上,。使用現(xiàn)代工藝，晶圓要進(jìn)一步加工,，加工流程包括光刻方法,，濕法和干法刻蝕工藝和金屬化的步驟。約2000片與微波電路,，或10000個(gè)激光芯片,，能夠組裝成4英寸晶圓,。 不可思議的晶圓厚度測(cè)量 圖1在潔凈室里：?jiǎn)T工使用3D多傳感器坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，采用色譜聚焦傳感器測(cè)量晶圓厚度 在技術(shù)人員將芯片從晶圓分離并且把它們組裝到光電或者高頻原件...
![線色譜傳感器—高速下的高精度]( "線色譜傳感器—高速下的高精度")
說(shuō)明：
線色譜傳感器—高速下的高精度 WERTH為2017年Control展隆重推出新研發(fā)的傳感器系列：線色譜傳感器（ChromaticFocusLineSensor,CFL）,。其可以快速采集整個(gè)零件的幾何形狀,。通過(guò)選用不同的物鏡，調(diào)節(jié)測(cè)量誤差和測(cè)量范圍來(lái)適應(yīng)各種應(yīng)用需求,。通過(guò)大的軸向測(cè)量范圍,，不需要針對(duì)零件幾何形狀的可控的補(bǔ)充。以便通過(guò)掃描,，快速并大面積獲取零件幾何形狀,。針對(duì)表面有高度變化的零件可以采用3D仿樣進(jìn)行掃描。線色譜傳感器可以用于測(cè)量漫反射,、鏡面和透明零件以及有較大傾斜角的零件表面,。 CFL在零件表面投影一排約200個(gè)白色光點(diǎn)。從零件表面反射回的光線將通過(guò)光譜分析,，確定傳感器和零件表面之間的距離,。通過(guò)新的線傳感器創(chuàng)新次實(shí)現(xiàn)了高速并且高精度地、完整地采集零件3D數(shù)據(jù),。僅僅用3秒鐘就能夠測(cè)量100萬(wàn)個(gè)測(cè)量點(diǎn),。 線色譜傳感器還具有另一個(gè)有趣的功能：反射回的光的波長(zhǎng)強(qiáng)度被分析評(píng)估，并創(chuàng)建零件表面的柵格圖像,。其后續(xù)的分析評(píng)估允許通過(guò)圖像處理軟件“在圖像內(nèi)”確定零件坐標(biāo)系或者測(cè)量幾何特征,。在此基礎(chǔ)上，由于位置的確定,，可以不需要傳感器轉(zhuǎn)換就使用各種其他傳感器進(jìn)行測(cè)量,。 在快速的測(cè)量速度下，CFL的測(cè)量準(zhǔn)確度允許測(cè)量精密零件和微特征,。該傳感器不僅可以用于鏡面或者透明零件如沖壓印?；蛘哂操|(zhì)合金及金剛石刀具的測(cè)量，也可以用于漫反射的塑料零件的測(cè)量,。通過(guò)高點(diǎn)密度來(lái)確定不同表面的形貌,。例如微機(jī)械零件手表表盤。CFL的另一個(gè)典型應(yīng)用是在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,，在生產(chǎn)工序中,，對(duì)于LED陣列的共面的測(cè)量。作為測(cè)量結(jié)果,，是以點(diǎn)云的形式體現(xiàn)零件表面的完整形狀,，借此測(cè)量平面度或者粗糙度以及幾何元素。也可以用顏色編碼顯示出理論實(shí)際值偏差,。 線色譜傳感器—高速下的高精度 線色譜傳感器測(cè)量的點(diǎn)云數(shù)據(jù)和CAD模型的顏色編碼偏差顯示 線色譜傳感器—高速下的高精度 手表表盤的柵格圖像.線色譜傳感器測(cè)量的點(diǎn)云數(shù)據(jù)和CAD模型的...
![現(xiàn)代智能化齒輪軸硬度測(cè)試]( "現(xiàn)代智能化齒輪軸硬度測(cè)試")
說(shuō)明：
用戶是一家全球的汽車行業(yè)一級(jí)供應(yīng)商,，以研發(fā)和制造傳動(dòng)系統(tǒng)聞名于世?，F(xiàn)代智能化齒輪軸硬度測(cè)試 需求 改進(jìn)工藝標(biāo)準(zhǔn)和簡(jiǎn)化操作者影響 隨著軟車削和切割操作，傳動(dòng)系統(tǒng)中的軸和齒輪在進(jìn)行爐熱處理,，表面淬火硬化,。 在表面硬化時(shí)，部件的表面層首先經(jīng)過(guò)碳富集然后硬化,。這增加了表面層的硬度,，從而增加的抗壓強(qiáng)度和疲勞強(qiáng)度，以及耐磨損性,。樣品的核心保持韌性,，具有較高的強(qiáng)度，因此抗沖擊-傳動(dòng)系統(tǒng)的基本特征,。 進(jìn)行回火作為硬化過(guò)程的一部分,。回火稍微減少了硬度,，并大大提高了屈服強(qiáng)度（韌性）,。 快速和簡(jiǎn)單的質(zhì)量和過(guò)程控制，每個(gè)批次部件,，必須在熱處理工藝后立即測(cè)試,。同時(shí)，要求改進(jìn)工藝標(biāo)準(zhǔn),。該批次的分類必須在未來(lái)隨時(shí)能夠調(diào)用,，所有相關(guān)數(shù)據(jù)必須自動(dòng)保存。 現(xiàn)代智能化齒輪軸硬度測(cè)試 硬度測(cè)試機(jī)符合如下需求： 1.多種部件,，根據(jù)生產(chǎn)線：各種不同形狀和尺寸需要測(cè)試,。 2.操作進(jìn)程速度：掃描部件條碼，硬度測(cè)試機(jī)從數(shù)據(jù)庫(kù)檢索測(cè)試方法,，并返回測(cè)試結(jié)果。 3.簡(jiǎn)化使用者操作：由QA軟件分配測(cè)試工件,，并將測(cè)試結(jié)果通過(guò)RS232接口傳輸?shù)絈A軟件,。 4.硬度測(cè)試機(jī)操作簡(jiǎn)單：多個(gè)操作工對(duì)多條生產(chǎn)線進(jìn)行硬度測(cè)試，無(wú)需復(fù)雜培訓(xùn),。 5.輕,、緊湊：由于硬化車間的空間限制，硬度測(cè)試機(jī)不應(yīng)該占用較大空間,。 解決方案 DuraJet10G5簡(jiǎn)單快速 現(xiàn)代智能化齒輪軸硬度測(cè)試 一臺(tái)Durajet10被放置在每一個(gè)生產(chǎn)線,。由于電子壓載控制系統(tǒng)主要載荷從1到250kgf，單臺(tái)設(shè)備即可覆蓋整個(gè)洛氏范圍,?？稍谏a(chǎn)線上直接快速測(cè)量表面硬度,。 此外，在300x740x565mm的Durajet是緊湊和輕量的硬度計(jì),。因此,，它不需要很大的空間。由于高精度測(cè)試頭,，廣泛的部件可以?shī)A緊和測(cè)試,。 使用串行接口（RS232）可進(jìn)行完整的數(shù)據(jù)管理。所有數(shù)據(jù)以ASCII格式輸入和輸出,。因此,，所有數(shù)據(jù)可以導(dǎo)出到該公司的QA軟件，在那里進(jìn)一步處理,。由此,，數(shù)據(jù)不再丟失。...
![陽(yáng)極氧化層和玻璃硬度測(cè)試]( "陽(yáng)極氧化層和玻璃硬度測(cè)試")
說(shuō)明：
行業(yè)需求光學(xué)產(chǎn)品,、玻璃及玻璃制品應(yīng)用領(lǐng)域?qū)嶒?yàn)室客戶主要產(chǎn)品： 雙筒望遠(yuǎn)鏡,，望遠(yuǎn)鏡，望遠(yuǎn)鏡瞄準(zhǔn)器 用戶是全球的狩獵,、觀景的光學(xué)產(chǎn)品提供商,。需求陽(yáng)極氧化層和玻璃硬度測(cè)試 需求 陽(yáng)極氧化和玻璃硬度測(cè)試 陽(yáng)極氧化涂層是鋁上的氧化保護(hù)層。在創(chuàng)新步,，鋁制部件脫脂并酸洗,。酸洗出去薄的天然氧化物層，其后是實(shí)際的陽(yáng)極氧化,。然后將新制備的多空層著色并隨后密封,。陽(yáng)極氧化是使用直流和酸性電解質(zhì)進(jìn)行的電解過(guò)程。再次密封該層,，以防止腐蝕導(dǎo)致物質(zhì)沉積,，并收縮閉合孔。陽(yáng)極涂層表現(xiàn)出極高的硬度,，耐磨,。這些黑色涂層也表現(xiàn)出好的耐腐蝕特性，它們通常用作裝飾涂料,。這些應(yīng)用的挑戰(zhàn)是找到正確的陽(yáng)極涂層測(cè)試方法,，因?yàn)樗鼈円环矫姹。硪环矫嫠鼈儼?。此外,，還需要對(duì)玻璃進(jìn)行測(cè)試，因?yàn)椴Ａг趦?nèi)部測(cè)試的過(guò)程中測(cè)試，這里必須哪些測(cè)試方法是合適的,。還可以自動(dòng)生成針對(duì)客戶要求的報(bào)告,。解決方案DuraScan 20因?yàn)殛?yáng)極涂層薄，所以只能使用低試驗(yàn)力,。使用努氏HK0.01方法,，我們已經(jīng)成功地直接對(duì)涂層進(jìn)行了測(cè)試。努氏壓痕不能深入滲透材料,，適用于薄涂層,。努氏方法用于玻璃硬度測(cè)試也是合適的，使用的測(cè)試方法取決于玻璃,。使用DuraScan20可以進(jìn)行努氏和維氏測(cè)試,，負(fù)載范圍從10g到62.5kg。配置了維氏和努氏壓頭,，自動(dòng)轉(zhuǎn)塔配有三個(gè)鏡頭,，覆蓋了整個(gè)負(fù)載范圍。自動(dòng)亮度控制可以在黑暗的表面進(jìn)行測(cè)試,。測(cè)試報(bào)告是根據(jù)客戶要求量身定制的,。因此可以在測(cè)量結(jié)束時(shí)自動(dòng)生成報(bào)告。為什么選擇EMCO-TEST,？硬度測(cè)試機(jī)的獨(dú)特設(shè)計(jì)引起了客戶的興趣,，他們對(duì)DuraScan20印象深刻。電動(dòng)Z軸設(shè)計(jì),，向前邁出了一大步,，大大減輕了工作量。 “轉(zhuǎn)塔超級(jí)棒,！當(dāng)測(cè)試陽(yáng)極氧化涂層時(shí),，通常需要多次測(cè)量以找到測(cè)試負(fù)載。如果我每次都要在壓頭和鏡頭之間轉(zhuǎn)換,，會(huì)浪費(fèi)大量時(shí)間,。就這樣，一切都是自動(dòng)的,，真的很快,！此外我有不同的光學(xué)鏡頭在轉(zhuǎn)塔上，因此將節(jié)省更多時(shí)間,。我還發(fā)現(xiàn)這臺(tái)設(shè)備性價(jià)比極...
![小工件工業(yè)CT無(wú)損高精密測(cè)量絕配-TomoScopeXS]( "小工件工業(yè)CT無(wú)損高精密測(cè)量絕配-TomoScopeXS")
說(shuō)明：
近年來(lái),，計(jì)算機(jī)斷層掃描技術(shù)的發(fā)展集中于大型零件和難以穿透的物質(zhì)的高分辨率測(cè)量的研發(fā),。為此,，必須使用大型和重型坐標(biāo)測(cè)量機(jī)。X射線管產(chǎn)生了2個(gè)分支：封閉式射線管在2到3年后必須更換,；開(kāi)放式射線管每年必須進(jìn)行多次保養(yǎng),。這導(dǎo)致了頻繁停機(jī)以及高昂的維保費(fèi)用,。 小工件工業(yè)CT無(wú)損高精密測(cè)量絕配-TomoScopeXS TomoScope®XS綜合了不同類型設(shè)備的很多的優(yōu)點(diǎn)，具有獨(dú)特性,。 TomoScope®XS是一款小尺寸高科技的機(jī)器,。新的設(shè)備類型綜合了不同類型設(shè)備的很多的優(yōu)點(diǎn)，具有獨(dú)特性,。創(chuàng)新次以直板設(shè)計(jì)出現(xiàn)的穿透式射線管具有小焦點(diǎn)大功率的特性,，可以實(shí)現(xiàn)快速并且高分辨率測(cè)量。新的X射線管結(jié)合了封閉式和開(kāi)放式微焦點(diǎn)射線管的優(yōu)點(diǎn),。X射線管,、發(fā)電機(jī)和真空發(fā)生器的直板設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了開(kāi)放式結(jié)構(gòu)。使得維保周期延長(zhǎng)并且理論是實(shí)現(xiàn)了無(wú)限的使用周期,。停機(jī)時(shí)間和運(yùn)營(yíng)成比得到了減少,。大的管電壓可以達(dá)到130kV或者可選160kV，可以用于測(cè)量較大和高密度材質(zhì)的零件,。通過(guò)氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)使得零件可以高精度定位,，減少測(cè)量誤差。 由于緊湊的設(shè)計(jì),，縮小了相應(yīng)的尺寸并且減少了重量,，TomoScope®XS幾乎可以被放置在場(chǎng)所。低購(gòu)置成本和運(yùn)營(yíng)成本實(shí)現(xiàn)快速的收益,。面向未來(lái)的理念為升級(jí)到160kV的管電壓以及80W的功率提供了可能性,。 如同WERTH的所有CT設(shè)備一樣，TomoScope®XS在采集圖像的同時(shí)進(jìn)行零件的3D重構(gòu),，實(shí)現(xiàn)快速同步進(jìn)程測(cè)量,。測(cè)量軟件WinWerth®保證了整個(gè)測(cè)量過(guò)程中測(cè)量結(jié)果的可追溯性。WERTH是一家擁有對(duì)CT設(shè)備校準(zhǔn)資質(zhì)的DAkkS實(shí)驗(yàn)室證書(shū)的生產(chǎn)廠家,，保證了測(cè)量結(jié)果的可靠性以及可追溯性,。推出符合精度標(biāo)準(zhǔn)的緊湊且價(jià)優(yōu)的設(shè)備?？焖倩貓?bào)及低廉的維護(hù)成本可以使得大量采購(gòu)帶有CT傳感器的TomoScope®XS用于不同零件的測(cè)量成為可能,。...
![【未來(lái)測(cè)量學(xué)】多傳感器系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)零缺陷生產(chǎn)的基礎(chǔ)]( "【未來(lái)測(cè)量學(xué)】多傳感器系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)零缺陷生產(chǎn)的基礎(chǔ)")
說(shuō)明：
插頭連接器之類的電子元器件的尺寸越來(lái)越小，這對(duì)制造業(yè)提出了更大的挑戰(zhàn),。ERNI電子采用三維數(shù)控多傳感器測(cè)量設(shè)備來(lái)確保其制造工藝,，其中一臺(tái)設(shè)備帶有X射線計(jì)算機(jī)斷層掃描技術(shù)。現(xiàn)代測(cè)量技術(shù)能夠快速地實(shí)現(xiàn)工藝驗(yàn)證,?！疚磥?lái)測(cè)量學(xué)】多傳感器系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)零缺陷生產(chǎn)的基礎(chǔ) ERNI電子引入了“零缺陷生產(chǎn)“技術(shù)。該公司在斯圖加特附近的阿德?tīng)栘惛裆a(chǎn)大量各種電路板連接器和I/O插頭連接器，背板,，連接器電纜,，外殼，系統(tǒng)和工具,。許多產(chǎn)品通過(guò)供應(yīng)商進(jìn)入汽車工業(yè)領(lǐng)域,，在那里要求已安裝的組件具有特別高的品質(zhì)。 因此,，質(zhì)保部的配套設(shè)施是名列前茅的,。在測(cè)量實(shí)驗(yàn)室里，除了各種三維數(shù)控多傳感器測(cè)量機(jī)以外,，還有一臺(tái)帶有X射線計(jì)算機(jī)斷層掃描傳感器的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（CMM）,。為了讓工人能夠迅速檢查他們的工作成果，在生產(chǎn)車間里安置了一臺(tái)復(fù)合式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),。 質(zhì)量管理部負(fù)責(zé)人OliverJehlitschke解釋說(shuō)：“汽車工業(yè)總是希望增加電路板的封裝密度,。這意味著，我們要不斷開(kāi)發(fā)更小的插頭連接器,。因此,，我們必須不斷調(diào)整生產(chǎn)和測(cè)量條件?！?他所在部門的長(zhǎng)期指導(dǎo)者和合作伙伴是Werth,。這個(gè)位于吉森的公司是現(xiàn)代三坐標(biāo)測(cè)量界的優(yōu)良供應(yīng)商。其專門從事生產(chǎn)帶有光學(xué)傳感器和X射線斷層掃描技術(shù)的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),，以及復(fù)合式三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),。早在1996年，ERNI就引進(jìn)了一臺(tái)緊湊型設(shè)備VideoCheckIP250,，用于插頭連接器,、外殼和打孔帶的光學(xué)測(cè)量。如今,，它已被一臺(tái)更新,、更準(zhǔn)確的同類型測(cè)量機(jī)所替代。對(duì)于較大的零件,，ERNI在1999年投入使用了VideoCheckFB固定橋式測(cè)量機(jī),，它的測(cè)量范圍是400×400×200mm。它配備了遠(yuǎn)心光學(xué)鏡頭,，以及獲得Werth光纖探針和傳統(tǒng)的3D觸發(fā)式探針,。 計(jì)算機(jī)斷層掃描技術(shù)使三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)更加完善 ERNI測(cè)量實(shí)驗(yàn)室的一大亮點(diǎn)是自2008年以來(lái)就被投入使用的WerthTomoSco...